Microvu影像仪 Excel501

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订货号:144219
分类编号:2150
品牌:Microvu
型号:Excel501
询价热线: 021-50758086 50308503
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参考信息


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Micro-Vu 影像测量系统

Spectra 投影仪 

型号 Spectra Bench Optical Spectra Floor Optical 

量测行程 30015075mm 30015075mm 

XY 
精度 Ux=2.5+L/25μm ,Uy=2.5+L/15μm 

精度 U=2.5 μm 

XY 
重现性 12.5μm 

重现性 7.5μm



Micro-vu Sol
半自动影像仪 

量测行程 160160160mm 

XY 
精度 U=(2.8+L/150)μm 

精度 U=(2.8+L/100)μm 

XY 
重现性 U=2.8μm 



Micro-vu Vertex 
系列全自动影像仪 

型号 Vertex251 Vertex12x12 

XY 
精度 Uxy=2.0+L/250 Uxy=2.6+L/175 

精度 Ux=2.5+L/150 Ux=3.0+L/150 

XY 
重现性 2.0μm 2.5μm 

重现性 2.0μm 2.0μm

Excel 500 

型号 501 UM / 501 UC 502 UM / 502 UC 

量测行程 400 x 500 x 160 mm 400 x 500 x 250 mm 

XY 
精度 2.5 + L/200 2.8 + L/200 

精度 2.5 + L/100 3.0 + L/100

Micro-vu Excel 650 

型号 Excel651UM Excel651UC Excel652UM Excel652UC Excel654UM Excel654UC 

测量行程 650650160mm 650650250mm 650650400mm 

XY 
精度 Uxy=2.5+L/300μm Uxy=2.8+L/300μm Uxy=3.2+L/300μm 

精度 Ux=2.5+L/150μm Ux=3.0+L/150μm Ux=3.5+L/150μm 

XY 
重现性 2.5μm 2.8μm 3.2μm 

重现性 2.5μm 3.0μm 3.5μm



Micro-vu Excel 1050 

型号 Excel 1051 UM/UC Excel 1052 UM/UC Excel 1054 UM/UC 

量测行程 1050 x 1050 x 160mm 1050 x 1050 x 250mm 1050 x 1050 x 400mm 

外形尺寸 1720 x 2000 x 1650mm 1720 x 2000 x 1850mm 1720 x 2000 x 2000mm 

重量 2700kg 2750kg 2850kg 

光学尺分辨率 0.1μm 

XY 
精度,E2 3.3 + L/300 3.6 + L/300 4.3 + L/200 

精度,E1 2.8 + L/100 3.3 + L/100 3.8 + L/100

Micro-vu Excel 
系列全自动影像仪 

Excel 1600 

型号 Excel 1601 UM/UC Excel 1602 UM/UC Excel 1604 UM/UC 

量测行程 1050 x 1650 x 160mm 1050 x 1650 x 250mm 1050 x 1650 x 400mm 

外形尺寸 1720 x 2600 x 1650mm 1720 x 2600 x 1850mm 1720 x 2600 x 2000mm 

重量 3450kg 3500kg 3600kg 

光学尺分辨率 0.1μm 

XY 
精度,E2 3.3 + L/300 3.6 + L/300 4.3 + L/200 

精度,E1 2.8 + L/100 3.3 + L/100 3.8 + L/100 



Excel 1650/1200/1250 

型号 Excel1651UM/UC Excel1652UM/UC Excel200U Excel250U 

量测行程 12501650160mm 12501650250mm 20001250200mm 25001600200mm 

XY 
精度 4.0+L/300μm 4.05+L/300μm [5.5+L(mm)/300]μm [5.5+L(mm)/300]μm 

精度 2.8+L/150μm 3.0+L/150μm 3.0+L/150μm 3.0+L/150μm 



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