超耐压力露点变送器 Pura Plus

参考信息

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新型的 Pura Plus 是密析尔仪表针对晶圆工业对于设备尺寸和指标的*新需求变化而特殊设计的。Pura Plus 是一款在线微量湿度异动变送器，多路安装在半导体工厂内通向生产线的气体供应*末端，用来监测超纯惰性气体的应用。工厂内气体系统分布复杂，涉及到很多分支、节点和使用点。因此在常规的湿度监测点后，会由于微量的泄漏、低效的系统设计、元件故障或过程出错等等原因导致湿气渗入，影响下游使用。而安装在分布系统中的 Pura Plus 能够提供快速的响应指示，在 20 ppb 湿气级别下 

1 ppb 的异动的响应时间小于1 分钟。

亮点

对 ppb 级别湿度异动的快速响应

低湿 ppb 级别的灵敏度 (<1 ppb)

多点测量安装的全新概念

维护要求低

信号灯式的状态指示

可设置警告和报警点

Modbus 网络兼容

远程控制界面的多通道软件

(UHP) 超纯气体的管线检测

技术指标

响应速度 <1 分钟 20 ppb 湿气变动1 ppb 的响应时间

湿度量程 1 ppb to 20,000 ppm

压力范围 0 to 10 bar

耐压等级 300 bar

泄漏测试 0-9 mbar l/s

工作流量范围 1 ~ 10 l/min

工作温度 5 ~ 40°C

存储温度 30 ~ 70°C

电源 20 ~ 28 V DC

功耗 5 W *大

外部保险丝等级 500 mA 快熔型

数据输出 Modbus ASCII 两线 RS485

警告和报警输出 2 路

*大电压 40 V DC

*大电流 100 mA

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