热反射法薄膜导热仪 NanoTR / PicoTR

参考信息

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量原理

热反射（Thermo-Reflectance）方法基于超*速激光闪射系统，可测量基片上金属、陶瓷、聚合物薄膜的热物性参数，如热扩散系数（Thermal Diffusivity）、热导率（Thermal Conductivity）、吸热 系数（Thermal Effusivity）和界面热阻。

由于激光闪射时间仅为纳秒（ns）量*，甚*可达到皮秒（ps）量*，此系统可测量厚度低*10nm的薄膜。同时，系统提供不同的测量模式，以适应于不同的基片情况（透明/不透明）。

该方法符合*际标准：
JIS R 1689：通过脉冲激光热反射方法测量*细陶瓷薄膜的热扩散系数；
JIS R 1690：陶瓷薄膜和金属薄膜界面热阻的测量方法。

发展简史 1990 年，日本产业技术综合研究所/日本**计量院（AIST/NMIJ）**热反射法，测量薄膜导热性能。 2008 年，AIST 设立 PicoTherm 公司。 2010 年，PicoTherm 公司推出纳秒*热反射系统 NanoTR。 2012 年，PicoTherm 公司推出皮秒*热反射系统 PicoTR。 2014 年，PicoTherm 公司和 NETZSCH 公司建立战略合作。NETZSCH 将负责 PicoTherm 产品在**的销售和服务。

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