参考信息
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特点
高精度CNC轮廓/形状测量仪。
X1,(Y)和Z2的驱动速度都高达200mm/s，确保实现高速定位，从而大大提高了多轮廓测量和多工件测量任务的速度。
带α轴的型号，可通过电动旋转X1轴连续测量水平面和倾斜面。
CV-4000CNC系列的驱动装置集成了激光全息光栅尺检出器，可以在Z1轴（垂直方向）的窄/宽范围内实现高精度和高分辨率测量。
带有Y轴工作台的型号可以沿着Y轴进行多种工件定位，从而扩大了多工件测量范围。
可以通过同时控制X，Y两轴，对斜面进行测量。
Z1轴检出器集成了防碰撞安全装置，当主机和工件或夹具碰撞时，检出器将自动停止。
提供易于操作的控制盒，用户可以通过这两个操纵杆选择合适的轴进行移动。在按键上标有易于理解的图形显示轴的选择状态。
通过USB与数据处理/分析装置（选件）进行信息交换。
技术参数
X1轴
测量范围: 200mm
分辨率: 0.05μm
测量速度: 0.02-2mm/s
直线度: 2μm/200mm
指示精度（20℃时）: ±（1+4L/200）μm（CV-3000CNC）
±（0.8+4L/200）μm（CV-4000CNC）
α轴
倾斜角度: -45°(CCW）-+10°(CW）
分辨率: 0.000225°
倾斜范围: 6°/S
Z2轴（立柱）
垂直移动: 300mm或500mm
分辨率: 0.05μm
Z1轴（检测器）
测量范围: ±25mm
分辨率: 0.2μm（CV-3000CNC）
0.05μm（CV-4000CNC）
指示精度（20℃时）: ±（2+|4H|/100）μm（CV-3000CNC）
±（0.8+|0.5H|/25）μm（CV-4000CNC）
测力: 30mN
测针针尖: 半径：25μm，硬质合金针尖
Y轴
测量范围: 200mm
分辨率: 0.05μm
直线度: 2μm/200mm
指示精度（20℃时）: ±（2+2L/100）μm
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