轴压电平台 XYZ Series

参考信息

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产品简介

压电平台XY200M沿X，Y和Z轴的行程为200 μm，*高可以承受3kg的负载。应用领域包括共焦微镜，掩膜定位和检测。这种平台基于APA200M设计，具有很高的硬度。平台可以配备精度高达10nm的应变计或涡流传感器。平台沿X，Y和Z轴的转动非常小。移动外框可根据要求定制。

这种结构要求驱动器的前两个通道为推拉式。

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