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该仪器*多可安装并选择3个相机和2个激光器。有两种对接方式可选择:与高级功能测试机直接对接,或者使用操纵器或探针卡进行线缆对接。该仪器带有用于300mm晶片的简易平台,系统结构灵活,可选配激光应用模块,使用户在使用多种探测器时进行多种背面分析。
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