热点检测微光显微镜 THEMOS-1000

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THEMOS-1000发热分析工具是一套用于通过半导体器件探测、热信号定位来进行半导体失效分析的系统。通过将高精度热探测器探测到的发热图与从红外共焦激光显微镜获取的高分辨率模板图像叠加，可快速、高精度地识别失效位置。

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