仪器简介：
广泛适用于研发，高能物理，环境，清洁度检测。
应用领域：
真空残余气体分析       超高真空残余气体分析 溅射过程气体分析     蒸发材料气体分析 
等离子体过程气体分析   在线气体分析         微量夹杂气体分析     呼吸气体分析 
充气气体成分分析       同位素分析           光学镜片清洁度检测   电子显微镜水分检测
半导体基片清洁度检测

技术参数：
1.质量数范围 amu 1-100,1-200,1-300
2.检测器 法拉第/通道倍增器
3.检测极限 mbar <2*10^-11/<10^-14
4.Ar的灵敏度 A/mbar >5*10^-4/200
5.最大工作压强 mbar 1*10^-4/1*10^-5


主要特点：
1.紧凑－－易于和真空系统集成；高灵敏度和高检测极限；视窗软件，功能齐全。
2.64种常用气体谱图；专门的残余气体分析模块，分压检测；双灯丝。
3.双路模拟输入和四路模拟输出信号；双路数字输出信号，可外控启动。
4.快速放大，高动态范围，自动切换电子学零漂。
5.耐烘烤温度最高达到300℃，90度转角空间节省型可选。