●分析元素 4Be ~ 92U
●固定分光器 弯曲晶体聚焦分光，全元素真空型
●扫描型分光器 平板晶体平行束方式
●软件 定量•定性分析、工作曲线、作表、传输
 

适用于工艺管理，可在约1分钟的时间里同时分析36种元素。采用4kW薄窗X射线管。采用封气型检测器，直至Na的检测也实现了长期稳定性，可以微量区域开始，在宽广的范围内进行出色的分析。