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测量范围
分辨力
主轴精度 ±0.05μm
系统精度 ≤0.1μm
*大直径 Φ140(可扩展)
*小内经 Φ5mm(*小可测Φ1mm,需另配测针)
测量高度 200mm(可扩展)
量程范围 500μm
传感器分辨率 0.001μm