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集成MEMS和图像传感技术器的超紧凑型微型光谱仪
MS系列是拇指大小(27.6 × 13 × 16.8 mm)的光谱仪探头,它的开发过程整合了我们的MEMS和图像传感器技术,用于安装到移动测量设备中。MS系列采用带光接收狭缝的CMOS图像传感器。内部光学系统包含了一个凸透镜,而光栅通过纳米压印技术制作在透镜表面。这就实现了比市面上的RC系列微型光谱仪的1/3还小的尺