工业激光共焦显微镜 OLS4000

参考信息

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性能特点如下：作为*早将激光共焦显微镜应用于工业*域的开拓者和实践者，OLYMPUS在工业的激光共焦应用*域积累了*到的技术，并推出了*新的产品OLS4000 。

*、主机性能
*  激光自动聚焦，对焦快速而*确；
*  自动六孔物镜换镜转盘，可配套多种物镜；
*  标准配套100x100 mm 超声波电动载物台，可实现*多500幅图像自动拼图；
*  标准配套5×、10×、20×、50×和100×物镜，其中20×、50×和100×物镜均为405nm专用复消色差物镜；
*  水平方向分辨率可达0.12μm，Z轴方向分辨率达0.01μm；
*  激光可以实现激光共焦、激光共焦微分干涉等观察方式；
*  激光光源为405nm半导体激光器，**等*CLASS2；
*  普通光源为3W *亮LED光源；
*  激光图像感应装置为Photo multiplier（光电倍增管）；
*  微镜调焦**物镜升降的方式，而非常见的载物台升降调焦的方式，可以*大**保证镜体的稳定性；
*  主机具有自动防震功能，不需搭配防震台使用；
*  “*键”拍摄功能，只*个按键即可自动拍摄照片；
*  丰富多彩的2D/3D图像显示方式，3D图像通过鼠标操控可自由旋转和放大；
*  自动报告生成功能；
*  数字图像处理，可以实现边缘增强、对比增强、滤波、剖面校正、快速傅立叶变换等功能；
*  可以实现对倾斜的样品校正水平；
*  自带操作软件可以实现中、英、日、德、韩五种语言选择 
*  具备丰富的测量功能：可以实现长度、*度、面积、体积、粗糙度、膜厚、颗粒等多种测量；

二、主要功能
1、微观二维形态图像(2-D Morphologic)获取
以405nm短波长半导体激光为光源,通过显微镜内**度扫描装置对样品表面的二维扫描，获得水平分辨率*达0.12μm的表面显微图像，同时通过CCD采集彩色图像信息，合成*分辨率真彩色形态（Morphologic）图像。目前，OLYMPUS***家开发的MEMS（微机电）工艺制造的扫描系统，不仅寿命很长，而且*度更加可靠。
2、微观三维形态图像（3-D Morphologic）获取
通过显微镜**度步进马达驱动和0.8nm光栅控制的聚焦装置，*用共聚焦技术（Confocal），逐层获取样品各个二维图像和焦面的纵向空间坐标。经计算机处理,将各个焦平面的显微图像叠加,获得样品表面的三维真实形态（近似SEM扫描电镜的Morphologic图像）。
3、微观三维轮廓与地形图像（3-D Profile，3-D Topography）获取
将扫描获得的样品表面各个点的三维空间坐标经计算机处理后，可获得垂直分辨率0.01μm的三维轮廓图像（近似三维表面形貌仪的图像）和三维地形图像（近似AFM 原子力显微镜的图像）。
4、多种测量功能
可以测量亚微米*的线宽、面积、体积、台阶、线与面粗糙度、透明膜厚，几何参数等测量数据。可作为**度测量设备，符合*际计量追溯体系（ISO）。附加金相插件，可做金相分析。
5、OLS4000具备常规显微镜的功能，多种观察方法：BF，DIC。可升*到原子力显微镜（AFM）。

三、应用*域
1、材料科学
新材料研发，缺陷分析，失*分析，传统金相分析。在材料行业中，定位于**端的金相显微镜，具有分辨率*、制样要求、同时可以做3D分析等优势，同时由于可以**热台和金相分析软件，基本可以涵盖*端金相的应用要求。
2、摩擦学、腐蚀等表面工程
磨痕的体积测量，粗糙度测量，表面形貌，腐蚀以及亚微米表面工程后的表面形貌。
3、MEMS
微米和亚微米*部件的尺寸测量（深度测量*适合范围：0.05μm到3mm，线宽测量*适合范围1μm-1.5mm），
各种工艺（显影、刻蚀、金属*、CVD、PVD、CMP等）后表面形貌观察，缺陷分析，透光膜厚测量（*适合范围1.0mm-1.0μm）。
4、半导体/LCD
各种工艺（显影、刻蚀、金属*、CVD、PVD、CMP等）后表面形貌观察，缺陷分析非接触型的线宽，台阶深度等测量，及GOLD BUMP的*度与表面粗糙度。
5、*密机械部件，电子器件
微米和亚微米*部件的尺寸测量，各种表面处理、焊接工艺后的表面形貌观察，缺陷分析，颗粒分析。
6、**密PCB制造
1) 激光钻孔后的孔径测量(亚微米到微米)，底部粗糙度，形貌观察。
2) 铜线*度(2-3μm),线宽(10-20μm或更细)
3) 基板表面粗糙度，三维形貌。
7、*学薄膜（*分子等）厚度测量、膜表面粗糙度测量

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