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主要特点:
1.具有超高分辨率 :1.0nm/15kV,1.6nm/1kV(减速模式)。
2.Super E x B技术用于控制SE/BSE信号检测,实现消除放电现象及信号混合。
3.具有“Semi-in-lens”和“out-lens”两种物镜模式,可实现高分辨和磁性样品两种观察模式。
应用领域:
1.纳米材料
2.金属
3.半导体器件
4.EBSP分析