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分辨率 高真空(二次电子) 低真空(背散射电子) (低真空二次电子) | 3.5nm(30kV),10nm(3kV); FIB <5nm(30kV)2.0nm(30kV) 4nm(30kV) |
工作真空 低真空模式 电子枪真空 离子枪真空 | 7-500Paa <3×10-7 Pa <5×10-6 Pa |
电子光学工作模式 | 分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样 |
放大倍率 | 3x-1,000,000x(SEM);150x-1,000,000x(FIB) |
加速电压 | 200V至30KV(SEM);1KV至30KV(FIB) |
电子枪 | 钨灯丝(SEM);液态金属镓离子源(FIB) |
探针电流 | 1pA至2μA(SEM);1pA至40nA(FIB) |
扫描速度 | 从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续调整 |
聚焦窗口 | 形状、尺寸和位置连续可调 |
扫描特性 | 动态聚焦,聚焦窗口,点和线扫描,倾斜校正,实时三维图像 |
图象尺寸 | *大可达8192×8192像素,图象比例可选1:1、4:3或2:1。 |
显微镜控制 | 通过计算机(键盘、鼠标、轨迹球)操作VEGA TC软件,所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现 |
自动程序 | 专利的实时电子束追踪技术自动*优化电子束,根据放大倍数优化束斑(BI OptiMag),自动聚焦&消象散,自动调整对比度&亮度,自动调整扫描速度(根据信噪比),自动调整饱和电流,电子枪合轴,透镜&光阑对中,真空控制,加速电压的补偿,灰度级调整 |
远程控制 | 通过TCP/IP |
内部尺寸 | 300mm宽×330mm深 |
门宽 | 280mm宽×310mm深 |
接口数量 | 13+ |
样品室减振方式 | 内置气垫减振 |
类型 | 全电脑化优中心 |
移动范围 | X=130mm —— 马达驱动 倾斜:-30°到+90°——马达驱动 |
样品高度 | *大139mm |