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技术参数：
分辨率 高真空(二次电子) 低真空(背散射电子) | 3.0nm(30kV),8.0nm(3kV)/ 选配 六硼化镧 2.0nm(30kV),5.0nm(3kV) / |
工作真空 高真空 低真空 | ＜9×10-3Pa / |
电子光学工作模式 | 分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样 |
放大倍率 | 1.5x-1,000,000x |
加速电压 | 200V至30KV |
电子枪 | 钨灯丝/六硼化镧 |
探针电流 | 1pA至2μA |
扫描速度 | 从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续调整 |
聚焦窗口 | 形状、尺寸和位置连续可调 |
扫描特性 | 动态聚焦，聚焦窗口，点和线扫描，倾斜校正，实时三维图像 |
图象尺寸 | *大可达8192×8192像素，图象比例可选1：1、4：3或2：1。 |
显微镜控制 | 通过计算机（键盘、鼠标、轨迹球）操作VEGA TC软件，所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现 |
自动程序 | 实时电子束追踪优化，束斑直径优化放大倍数，聚焦&消象散，对比度&亮度，扫描速度（根据信噪比），灯丝饱和调整，电子枪对中，光阑&透镜对中，真空控制，加速电压的补偿，灰度等级调整 |
远程控制 | 通过TCP/IP |
内部尺寸 | 300mm宽×330mm深 |
门宽 | 280mm宽×310mm深 |
接口数量 | 12+ |
样品室减振方式 | 气垫（可选配内置主动式电磁减振） |
类型 | 全电脑化优中心 |
移动范围 | X=130mm —— 马达驱动 Y=130mm ——马达驱动 Z=100mm —— 马达驱动 旋转：360°连续可调——马达驱动 倾斜：-30°到+90°——马达驱动 |
样品高度 | *大145mm |
合规既生命!
沪公安网备:
31019002000128