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技术参数:
分辨率: 1.0nm @ 15 KV
1.7 nm @ 1 KV
3.5nm @0.2KV
4.0nm@0.1KV
2.0nm @30KV(VP mode)
放大倍数:12 - 900,000x
加速电压:0.1 - 30 KV
低压范围:2-133Pa 1Pa步进可调
探针电流:4 pA - 10 nA (4 pA - 20 nA 可选)
样品室: 330 mm (?) x 270 mm (h)
样品台: 5轴驱动
X = 130mm
Y = 130 mm
Z = 50mm
倾斜角T = -3 to 70°
R = 360°连续旋转