聚焦离子束(FIB) JIB-4500

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性能特点如下：JIB-4500是集成扫描电镜和聚焦离子束于一身高性能仪器。它采用六硼化镧灯丝，可以对进行实时研磨监控。该仪器又是一个微区观察、样品分析、微区研磨的集合体，应用范围广泛。

*主要特点：1.监控、切割、组装和三维图像重构连续操作 
2大束流，*大30nA 
3.提供空前稳定的图像 
4.低真空功能适用于非导体样品 
5.气体注入系统用于刻蚀和沉积 
6.*大装样 150 mm 
7.气锁式样品交换 
8.五轴全对中样品台 
9.多个样品分析接口

技术参数：FIB 分辨率: 5nm, 30kV 
SEM分辨率: 2.5nm, 30kV (LaB6) 
样品台: X/Y 76 mm, Z 5 to 48 mm 
T -10 to 90度 
R 360 度 
标准: LV 模式, BEI, 
气体输入系统 x1

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