冷场发射扫描电子显微镜 JSM-7500F

参考信息

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性能特点如下：1.主动式减震器 
2.*先进的磁悬浮分子泵系统，无需UPS保护 
3.标配的五轴马达驱动全对中样品台 
4.全自动样品更换气锁 
5.全自动样品监控系统 
6.全自动物镜光阑 
7.多通道显示系统 
8.自动减速系统标准配置

技术参数：1.分辨率：1.0nm(15kV)/1.4nm(1kV) 
2.加速电压：0.1KV-30kV 
3.放大倍数：25-100万倍 
4.样品室尺寸：*大200mm直径样品 
5.束流强度：10-13到2X10-9

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