微分干涉工具显微镜 MT-200

参考信息

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影像及

测量系统

 CCD

 美国TEO 1/2"高分辨率彩色相机

 

光学系统

 无限远色差校正光学系统

 

三目观察筒

 三目观察筒（分光比50：50），1XCTV接口

 目镜

 PL10X/22平场高眼点目镜（其中1只十字）

 物 镜

 5X物镜（明场无限远，DIC）， 5X/0.13    WD10.8mm

 10X物镜（明场无限远，DIC），10X/0.25   WD10.0mm

 20X物镜（明场无限远，DIC），20X/0.40   WD4.0mm

 50X物镜（明场无限远），     50X/0.55        WD7.9mm

 显示分辨率

 

0.001mm 

测量精度

 

X/Y轴

 （3+L/200）um

 Z轴(选配)

 （5+L/200）um

 

重 复 性

 2um

 

调焦系统

 手 动

 Z轴行程150mm，粗微同轴，小调节精度2um

 

照明系统

 反射：柯勒照明系统，24V/150W光钎冷光源

 

透射：5W白色LED，

 微分干涉装置

DIC微分干涉组件（反射光用），含直偏、检偏器

 台式电脑

2G/500G/DVD/键鼠/+19液晶显示器

 测量软件 

二维几何量测量功能主要包括：两点间距离、点到直线的距离、角度、圆心距；十字线显示，

 校正片

 0.01mm 电 源

 90～240V电压，50HZ

 仪器重量

 320Kg、

 可供附件

 0.5X CTV接口

 100X物镜（明场无限远），   100X/0.80    WD2.1mm选配

 

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