微分干涉LCD检查工具显微镜 MT-400

参考信息

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性能特点

■ 创新图像处理技术，获得更精细的动态图像，测量数据直接发送至Aout CAD中，测量数据及时传输到Word/Excel，以便实时分析，强大的元素测量功能。

■ 全新的光路设计无限远校正光学系统，光效率更高，采用长寿命LED光源，提供出色的图像质量。

美国TEO 1/2"高分辨率彩色相机

 光学系统

 无限远色差校正光学系统

 三目观察筒

 三目观察筒（分光比50：50），1XCTV接口

 目镜

 PL10X/22平场高眼点目镜（其中1只十字）

 物 镜 

5X物镜（明场无限远，DIC）， 5X/0.13    WD10.8mm

 10X物镜（明场无限远，DIC），10X/0.25   WD10.0mm

 20X物镜（明场无限远，DIC），20X/0.40   WD4.0mm

 50X物镜（明场无限远），     50X/0.55        WD7.9mm

显示分辨率

0.001mm

 测量精度

 X/Y轴

 （3+L/200）um 

轴(选配) 

（5+L/200）um

重 复 性

2um

 

调焦系统

 手 动

 Z轴行程150mm，粗微同轴，小调节精度2um

 

照明系统

 反射：柯勒照明系统，24V/150W光钎冷光源

 

透射：5W白色LED，

 

微分干涉装置

 

DIC微分干涉组件（反射光用），含直偏、检偏器

 台式电脑

 2G/500G/DVD/键鼠/+19液晶显示器

 

测量软件

 二维几何量测量功能主要包括：两点间距离、点到直线的距离、角度、圆心距；十字线显示，

 

校正片

 0.01mm

 

电 源

 90～240V电压，50HZ

 

仪器重量 

320Kg、

 可供附件

 0.5X CTV接口

 00X物镜（明场无限远），   100X/0.80    WD2.1mm选配

 

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