台阶仪 Dektak150

参考信息

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Dektak 150 台阶仪 
集40多年的探针轮廓技术创新于一身，该系统在行业内的表现遥遥领先，以重现性*佳和标准扫描范围*大而著称。它提供各种各样的配置和附加选项，用于程序化测量、低探针力表征和细节分析
台阶仪Dektak 150 表面轮廓仪（探针式）
规格： 
测试技术：探针轮廓技术
测试功能：二维表面轮廓测试
样品视场：640*480像素，USB；17 inc 平板显示器
探针传感器：低惯量传感器（LIS 3）
探针压力：使用LIS 3传感器：1至15 mg
使用N-lite传感器：0.03至15 mg
探针选项：探针曲率半径可选范围：50 nm至25 um;
高径比针尖：10 um * 2 um 和200 um*20 um
样品载物台：手动X/Y/@：100*100 mm, 360度旋转，可手动校平；
可选Y自动移动载物台，100 mm行程，1um重现性，0.5 um分辨率；
可选X-Y自动移动载物台，150 mm行程；
1um重现率，0.5 um 分辨率
计算机系统：主机使用celeron或者semprom处理器
软件：Dektak软件
台阶检测软件
可选应力测量软件
可选三维Vision分析软件
可选缝合软件
减震装置：可选桌式震动隔离装置
可选台式震动隔离装置
性能
扫描长度范围 55mm(2.1英寸)
每次扫描数据点*多12万数据点
*大样品厚度高达90 mm (4英寸)，取决于配置
*大晶圆尺寸 150 mm(6英寸)
台阶高度重现性 6埃
垂直范围：标准524um(0.02英寸)；可选1mm
垂直分辨率：*大1A（6.55um垂直范围下）
尺寸：292 mm *508 mm*527 mm
重量：34 kg
电源要求：
输入电压： 100-120VAC/200-240VAC, 50-60 HZ

无论是用于科学研究还是工业生产，Dektak 150探针式表面轮廓仪都具有业内*好的表现性能，*高的测量重复性以及*大的扫描范围。Dektak 150集四十多年的技术积累和创新于一身，为满足用户不同应用方向的需要提供了多种可选配置。坚固的铝质材料铸成的机身框架以及支撑部件显著提高了仪器的重复精度，并降低了地板噪音对测量的干扰。基于Windows?XP的软件用户界面，使用户迅速掌握Dektak 150。分析功能齐全，界面直观，包括从简便的一键"进针即测量"，到多次扫描结果的自动分析。通过选配三维成像附件套装还可以极大地扩充仪器的功能。

详细技术要求及参数： 
? 测量重复性 6?，1δ (10000 ? 标准台阶)。 
Step height repeatability6 Angstroms, 1 sigma (1,0000 angstrom step). 
? *大扫描长度 55mm，用于测量弯曲度和波度。 
Maximum scan length = 55mm, for measuring curvature and waviness. 
? 配有快速更换探针附件。 
Quick-change stylus removal with stylus coupled to the sensor head magnetically using 
kinematic mounts and special stylus removal fixture. 
? 低噪音线性 LVDT 传感器，保证 Z 轴方向高分辨率测量。 
Linear LVDT sensor for low noise, high resolution Z-axis measurements 
? 电磁探针压力调整系统，不管探针在何垂直位置都可保证探针压力不变。 
Electromagnetic stylus force adjustment mechanism to ensure stylus force is constant 
irrespective of the vertical position of the stylus.

线性扫描——基于精确光学平面的样品台——提供了优越的基线稳定性，消除了几何测量误差。 
Linear scan method – precision scan stage with optically flat reference – provides 
excellent baseline stability, free of geometric measurement errors. 
& 精确 6 英寸样品台（X-Y-Theta 手动定位） 
Precision 6” sample stage with manual X-Y-Theta position adjustment 
& 台阶检测功能，可自动测试多重台阶。 
Step Detection feature for automatically measuring multiple steps 
&彩色摄影镜头（放大倍数 166x 并配有视频图象自动捕捉功能），为报告和演讲提供丰富的图形数据。 
Color video camera standard with 166x zoom magnification with video image capture 
feature for use in reports and presentations. 
&视频观测功能使探针在整个扫描过程中均处在观察中，保证了扫描数据和视频图象的相互关联。 
Video overlay feature where stylus stays in view throughout entire scan. Ensures direct 
correlation between scan data and video of sample 
&大于 4 英寸的样品空间可确保大样品的测量。 
Up to 4” sample clearance for larger samples 
& 多扫描程序具有生成标准统计报告，用以计算标准偏差和平均值等结果。

Multi-scan program recipe capability standard with statistical report generating software 
to calculate standard deviation and mean. 
&软件有 30 种分析功能,包括程控数据过滤等，从而得到精确的粗糙度和波度结果。 
30 Analytical functions built-in, including programmable cut-off filters for accurate 
roughness and waviness calculations 
& 低惯性感应器技术的应用可以把探针压力调整到 1mg，从而使出众的表面表征能力 
得以实现。 
Low inertia sensor technology to allow superior surface tracking with low stylus forces 
down to 1 mg. 
& 标准垂直测量范围 524um(1 mm可选择) 
Standard 524 μm maximum vertical range (1mm optional) 
? 数据采样点可达 120,000/扫描 
Acquire up to 120,000 data points per scan 
& 3/8”厚的环境环境罩, 可消除静电和电磁干扰。 
Environmental shield 3/8” thick acrylic cover, ESD resistant 
&操作手册 ( 1本说明书和 1 张光盘) ，可以接受在线帮助 
Operation manual (1 printed hard copy and 1 electronic copy on CD) with manual also 
available as on-line help 
&符合 CE 标准 
CE compliant

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