台阶仪 ET 200

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订货号:86502
分类编号:2491
品牌:日本KOSAKA
型号:ET 200
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参考信息


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性能和特点:

KOSAKA ET200 基于 Windows XP 操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析,包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石(钻石)探针接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET200 能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。 

ET 200 配备了各种型号探针,提供了通过过程控制接触力和垂直范围的探头,彩色 CCD原位采集设计,可直接观察到探针工作时的状态,更方便准确的定位测试区域。

技术参数:

一、测定工件: 

1. *大工件尺寸:φ160mm 

2. *大工件厚度:50mm 

3. *大工件重量:2kg 

二、检出器(pick up): 

1. Z方向测定范围:Max. 600μm 

2. Z方向分解能:0.1nm 

3. 测定力:10μN to 500μN 

4. 触针半径:2 μm 

5. 驱动方式:直动式 

6. 再现性:1σ= 1nm 

三、X 轴 (基准轴): 

1. 移动量(*大测长):100mm 

2. 移动的真直度:0.2μm/100mm 

3. 移动,测定速度:0.02 ~ 10mm/s 

4. 线性尺(linar scale):分解能 0.1μm 

四、Z轴: 

1. 移动量:50mm 

2. 移动速度:max.2mm/S 

3. 检出器自动停止机能 

4. 位置决定分解能:0.2μm 

五、工件台: 

1. 工件台尺寸:φ160mm 

2. 机械手动倾斜: ± 1mm/150mm 

六、工件观察:max.110 倍(可选购其它高倍率CCD) 

七、床台:材质为花岗岩石 

八、防振台(选购):落地型或桌上型 

九、电源:AC100V±10%, 50/60HZ, 300VA 

十、本体外观尺寸及重量:W494×D458×H610mm, 120kg(不含防震台)


-----------以上信息仅供参考不作为下单依据------------

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