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光谱范围: 700 nm - 1700 nm
SE 805是近红外光谱椭偏仪,是在近红外波段基于快速干涉调制探测的高性能光谱椭偏仪。SE 805使用步进扫描分析器方式,调制光的强度在固定的分析器位置被测量,使用宽带固体探测器。
主要应用
·测量单层膜或多层膜的厚度和折射率
·在近红外波段测量材料的光学性质
·测量厚度梯度
·确定材料成分
·分析较厚的膜,厚度范围可到30微米
·适合测量In搀杂的半导体材料 (InP, InGaAs, InGaAlAs, InN)
选项
·近红外光谱扩展选项,700 - 2300 nm
·计算机控制高性能消色差补偿器
·计算机控制起偏器
·计算机控制自动角度计, 40o-90o, 精度0.01o
·手动x-y载物台,150 mm行程
·电机驱动x-y载物台,行程50 mm - 200 mm, SENTECH地貌图扫描软件
·透射测量样品夹具
·摄象头选项,用于样品对准和表面检测
·液体膜测量单元
·反射式膜厚仪FTPadvanced, 光斑直径80微米
·微细光斑选项
·自动对焦选项,结合地貌图扫描选项
·SENTECH标准样片
·附加许可,使 SpectrRay II软件可以用于多台电脑