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多角度激光椭偏仪 SE400advanced使用632.8nm波长HeNe激光器,对测量薄膜厚度,折射率和吸收系数有非常出色的精度。 SE400advanced能够分析单层膜,多层膜和大块材料(基底)
? 超高精度和稳定性,来源于高稳定激光光源、温度稳定补偿器设置、起偏器跟踪和超低噪声探测器
? 高精度样品校准,使用光学自动对准镜和显微镜
? 快速简易测量,可选择不同的应用模型和入射角度
? 多角度测量,可完全支持复杂应用和精确厚度
? 全面的预设应用,包含微电子、光电、磁存储、生命科学等领域
规格:
? 激光波长632.8 nm
? 150 mm (z-tilt) 载物台
? 入射角度可调,步进5o
? 自动对准镜/显微镜,用于样品校准
? Small footprint
? 以太网接口连接到PC