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固定角度,*重复性,12英寸(300mm)大面积激光椭偏仪,选件同SE800选件。主要用于玻璃上透明薄膜,发光材料和半导体有机物,吸收和透明衬底上多层膜,玻璃上防反射膜,微电子应用:SOI/*K/低K。选件请参考SE800选件。